技術(shù)指標(biāo)

X射線膜厚測試機(jī)器分析元素范圍：硫（S）～鈾（U） 
同時(shí)檢測元素：*多24個(gè)元素，多達(dá)5層鍍層
分析含量：一般為2ppm到99.9% 
鍍層厚度：一般在50μm以內(nèi)（每種材料有所不同）
SDD探測器：分辨率低至135eV
*微孔準(zhǔn)直技術(shù)：*小孔徑達(dá)0.1mm,*小光斑達(dá)0.1mm
樣品觀察：配備全景和局部兩個(gè)工業(yè)高清攝像頭 
準(zhǔn)直器：0.3×0.05mm、Ф0.1mm、Ф0.2mm與Ф0.3mm四種準(zhǔn)直器組合 
儀器尺寸：690（W）x 575（D）x 660（H）mm
樣品室尺寸：520（W）x 395（D）x150（H）mm
樣品臺尺寸：393（W）x 258 （D）mm
X/Y/Z平臺移動速度：額定速度200mm/s 速度333.3mm/s
X/Y/Z平臺重復(fù)定位精度：小于0.1um
操作環(huán)境濕度：≤90%
操作環(huán)境溫度：15℃～30℃ 
全自動智能控制方式，一鍵式操作!
開機(jī)自動自檢、復(fù)位； 
開蓋自動退出樣品臺，升起Z軸測試平臺，方便放樣； 
關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺，下降Z軸測試平臺并自動完成對焦； 
直接點(diǎn)擊全景或局部景圖像選取測試點(diǎn)； 
點(diǎn)擊軟件界面測試按鈕，自動完成測試并顯示結(jié)果。 
 

性能優(yōu)勢 

1.X射線膜厚測試機(jī)器精密的三維移動平臺 

2.的樣品觀測系統(tǒng) 
3.*圖像識別 
4.輕松實(shí)現(xiàn)深槽樣品的檢測 
5.四種微孔聚焦準(zhǔn)直器，自動切換 
6.雙重保護(hù)措施，實(shí)現(xiàn)無縫防撞 
7.采用大面積高分辨率探測器，有效降低檢出限，提高測試精度