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輝光放電光譜儀質(zhì)量控制、新材料研發(fā)的工具 表面處理工藝 表面涂層工藝 經(jīng)材料和工藝處理過的近表面 可準(zhǔn)確分析化學(xué)成分和涂層厚度 可分析非導(dǎo)電材料和涂層，如玻璃、陶瓷、類金剛石、防腐涂層，唯YI的非導(dǎo)體、半導(dǎo)體深度剖面快 速分析手段 GDOES儀器提供了一種對具有層狀結(jié)構(gòu)的材料快速深度剖面分析的手段 相對于電鏡、俄歇等微區(qū)分析技術(shù)而言，GDOES具備大區(qū)域分析能力